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发明名称 WAERMEERZEUGUNGS-WIDERSTANDSELEMENT UND WAERMEERZEUGUNGS-WIDERSTANDSVORRICHTUNG UNTER VERWENDUNG DES WAERMEERZEUGUNGS-WIDERSTANDSELEMENTS
摘要
申请公布号 DE3608887(A1) 申请公布日期 1986.10.02
申请号 DE19863608887 申请日期 1986.03.17
申请人 CANON K.K. 发明人 SUGATA,MASAO;MASAKI,TATSUO;KOMURO,HIROKAZU;HIRASAWA,SHINICHI;YANO,YASUHIRO
分类号 C23C16/26;H01C7/00;H01L49/02;H05B3/14;H05B3/26;(IPC1-7):H05B3/12;H01B1/18;C23C16/30 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
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