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发明名称
摘要
申请公布号	JPS61153954(U)	申请公布日期	1986.09.24
申请号	JP19850037423U	申请日期	1985.03.18
申请人		发明人
分类号	H01J37/20;G01R31/302;H01J37/147;H01J37/28;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):H01J37/147	主分类号	H01J37/20
代理机构		代理人
主权项
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