发明名称 A PROCESS FOR FORMING VIAS ON INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0175604(A3) 申请公布日期 1986.09.17
申请号 EP19850401638 申请日期 1985.08.13
申请人 FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORPORATION 发明人 THOMAS, MICHAEL E.;BROWN, ROBERT L.
分类号 H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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