发明名称 掺金硅互换热敏电阻
摘要 本发明属于半导体温度传感器领域。本发明采用氯化金涂层扩散,当金和本底净杂质浓度之比为1~1.5时,形成稳定性好,B值为4000K~6000K,其均匀度优于0.1%的掺金硅热敏材料。利用该材料的双面高阻层做成串联式热敏电阻,经机械调值后,元件在-30~+50℃温区阻值互换精度为0.2%,高温(85℃)存放一年的稳定性优于0.3%。本发明可广泛地应用于工业、农业,尤其是医学、生物工程、化学等多方面的温度测量与控制。
申请公布号 CN85102901A 申请公布日期 1986.09.10
申请号 CN85102901 申请日期 1985.04.01
申请人 中国科学院新疆物理研究所 发明人 阿帕尔;陶明德;陶国强
分类号 H01C7/00 主分类号 H01C7/00
代理机构 中国科学院新疆专利事务所 代理人 王蔚
主权项 1、掺金硅互换热敏电阻。是利用金在硅中的深能级热激发效应做成的单晶热敏电阻。其特征在于该热敏电阻的材料为扩散金形成的4000~6000B值的硅单晶热敏材料。
地址 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市二宫新疆物理研究所
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