发明名称 Process for re-using carrier body holders employed in the pyrolytic precipitation of silicon
摘要
申请公布号 US3042493(A) 申请公布日期 1962.07.03
申请号 US19610092562 申请日期 1961.03.01
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 REUSCHEL KONRAD;SCHINK NORBERT
分类号 C01B31/36;C01B33/035;C22B41/00;C23C16/06;C30B25/08 主分类号 C01B31/36
代理机构 代理人
主权项
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