发明名称 |
Process for re-using carrier body holders employed in the pyrolytic precipitation of silicon |
摘要 |
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申请公布号 |
US3042493(A) |
申请公布日期 |
1962.07.03 |
申请号 |
US19610092562 |
申请日期 |
1961.03.01 |
申请人 |
SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
REUSCHEL KONRAD;SCHINK NORBERT |
分类号 |
C01B31/36;C01B33/035;C22B41/00;C23C16/06;C30B25/08 |
主分类号 |
C01B31/36 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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