DRY ETCHING OF METAL FILM,申请号IE19800001592-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	DRY ETCHING OF METAL FILM
摘要
申请公布号	IE50996(B1)	申请公布日期	1986.09.03
申请号	IE19800001592	申请日期	1980.07.30
申请人	FUJITSU LIMITED	发明人
分类号	C23F4/00;H01L21/02;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;C23F1/12;H01L21/28;H01L21/31	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
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