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发明名称 TERPOLYMER RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0089405(B1) 申请公布日期 1986.08.20
申请号 EP19820110351 申请日期 1982.11.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHENG, YING YING;GRANT, BARBARA DIANNE;PEDERSON, LESTER ARLYN;WILLSON, CARLTON GRANT
分类号 G03F7/26;C08L61/00;C08L61/04;C08L61/06;C08L61/10;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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