| 发明名称 |
APERTURBLENDE MIT ZELLENFOERMIGER MEHRLOCHSTRUKTUR UND AUSTASTELEKTRODEN ZUR ERZEUGUNG EINER MEHRZAHL VON INDIVIDUELL AUSTASTBAREN KORPUSKULARSTRAHLSONDEN FUER EIN LITHOGRAFIEGERAET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3504705(A1) |
申请公布日期 |
1986.08.14 |
| 申请号 |
DE19853504705 |
申请日期 |
1985.02.12 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
LISCHKE,BURKHARD,PROF.DR. |
| 分类号 |
H01J37/09;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/09;H01J9/14;H01L21/26;G03F7/20 |
主分类号 |
H01J37/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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