发明名称 VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG VON DUENNFILMSCHALTKREISEN MIT SCHABLONEN
摘要
申请公布号 DD238180(A3) 申请公布日期 1986.08.13
申请号 DD19810229051 申请日期 1981.04.08
申请人 ROCHLITZER,DIETER,DD;PFEIL,GEORG,DD;HENNEBERGER,JUERGEN,DD;BRODE,WOLFGANG,DD;STEINHAUER,INGO,DD;SCHREIBER,HANS,DD;STEINBRUECK,ROLF,DD;SCHNEIDER,BERNHARD,DD 发明人 ROCHLITZER,DIETER,DD;PFEIL,GEORG,DD;HENNEBERGER,JUERGEN,DD;BRODE,WOLFGANG,DD;STEINHAUER,INGO,DD;SCHREIBER,HANS,DD;STEINBRUECK,ROLF,DD;SCHNEIDER,BERNHARD,DD
分类号 H01L49/02;(IPC1-7):H01L49/02 主分类号 H01L49/02
代理机构 代理人
主权项
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