发明名称 HIGH RESOLUTION POSITION SENSING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2132362(B) 申请公布日期 1986.08.13
申请号 GB19830034582 申请日期 1983.12.29
申请人 * VARIAN ASSOCIATES INC 发明人 WILLIAM ALLEN * GERARD
分类号 G01B7/00;G01D5/22;(IPC1-7):G01B7/00 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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