Method for manufacturing a measuring transducer for measuring mechanical quantities.

摘要

Ein Meßwandlereinsatz zum Einbau in Aufnehmer zum Messen mechanischer Größen umfaßt einen Halbleiterkörper (31) mit einer Meßmembranpartie (30), die an einer Seite eindiffundierte dehnungsempfindliche Widerstandspfade bzw. Kondensatorelektroden sowie Anschlußkontakte (39) aufweist. Der Halbleiterkörper (31) ist - auf vorzugsweise anodischem Wege - mit einem Basiskörper (36) aus isolierendem Material verbunden, der von elektrisch leitend beschichteten Kanälen (37) durchsetzt ist. Die Kanäle (37) enden an einer Ausnehmung (33) im Basiskörper, die von der Meßmembranpartie (30) überspannt wird. Die elektrisch leitenden Schichten (38) der Kanäle (37) erstrecken sich längs der Ausnehmung (33) bis nahe den Anschlußkontakten (39) des Halbleiterkörpers (31) und sind mit diesen im sog. Winkeltropfverfahren elektrisch leitend verklebt, verlötet oder durch Thermokompression verbunden. In der Ausnehmung (33) des Basiskörpers (36) kann eine zentrale Erhöhung (32) vorgesehen sein, die eine Durchbiegungsbegrenzung für die Meßmembranpartie (30) schafft. Der Meßwandlereinsatz läßt sich im sog. Batch-Verfahren fertigstellen.