| 发明名称 |
DEFLECTING OBJECTIVE FOR NEUTRAL PARTICLE BEAMS OF VARIABLE SHAPE, AND METHOD OF OPERATING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0106154(A3) |
申请公布日期 |
1986.08.06 |
| 申请号 |
EP19830109001 |
申请日期 |
1983.09.12 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN |
发明人 |
PLIES, ERICH, DR. RER. NAT. |
| 分类号 |
G21K1/08;G21K1/093;G21K5/04;H01J37/141;H01J37/30;H01L21/027;H05H7/00;(IPC1-7):H01J37/147;H01J37/317 |
主分类号 |
G21K1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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