PROCEDE POUR REVETIR DES ELEMENTS DE MACHINES OU OUTILS D'UNE MATIERE DURE ET ELEMENTS DE MACHINES ET OUTILS FABRIQUES PAR APPLICATION DE CE PROCEDE

摘要

IL S'AGIT DE REVETIR DES PIECES EN ACIERS SENSIBLES A LA TEMPERATURE D'UNE MATIERE DURE CONSTITUEE PAR UN COMPOSE AZOTE ETOU CARBONE D'UN METAL DU GROUPE TI, ZR, HF, CR, TA, W, NB, PAR PULVERISATION CATHODIQUE REACTIVE DE L'UN DE CES METAUX DANS UNE ATMOSPHERE AZOTEE OU CARBONEE. POUR OBTENIR DES COUCHES EPAISSES ET SANS FISSURES SUR DES SUBSTRATS 5 SENSIBLES A LA TEMPERATURE, ON DEPOSE EN ALTERNANCE DES COUCHES ELEMENTAIRES DE MATIERE DURE 7 DU GROUPE TIN, TIC, TICN; ZRN; HFN; CRN, CRC; TAC, TAN; WN, WC; NBN, QUI N'OCCUPENT QU'UNE FRACTION DE L'EPAISSEUR TOTALE, ET DES COUCHES INTERCALAIRES METALLIQUES 6 D'AU MOINS L'UN DES METAUX DU GROUPE TI, ZR, HF, CR, TA, W, NB; AL, NI, FE, CES DERNIERES ETANT DEPOSEES PAR PULVERISATION CATHODIQUE DANS DES CONDITIONS NON REACTIVES.