发明名称 EPHITACTIAL APPARATUS
摘要
申请公布号 KR860001742(Y1) 申请公布日期 1986.07.31
申请号 KR19860008872U 申请日期 1986.06.24
申请人 TOSHIBA MACHINE CO.,LTD. 发明人 MIYAJAKI YOSHIHIKO;KOTO DAIJAN;KOMIYAMA YOSHIJO;IWADA KOTEI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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