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发明名称
摘要
申请公布号 DE3035125(C2) 申请公布日期 1986.07.31
申请号 DE19803035125 申请日期 1980.09.17
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 FRITZ, OTMAR, DIPL.-ING., 8011 NEUKEFERLOH, DE
分类号 H01L21/60;H01L23/60;(IPC1-7):H01L23/50;H01L21/66 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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