| 发明名称 |
APPARATUS FOR THE GROWTH OF SEMICONDUCTOR CRYSTALS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2170043(A) |
申请公布日期 |
1986.07.23 |
| 申请号 |
GB19850030093 |
申请日期 |
1985.12.06 |
| 申请人 |
* SHARP KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TOSHIRO * HAYAKAWA;TAKAHIRO * SUYAMA;KOHSEI * TAKAHASHI;SABURO * YAMAMOTO |
| 分类号 |
H01L21/203;C30B23/06;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/36;C23C14/24 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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