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发明名称 FOERBAETTRAD METOD OCH APPARAT FOER ELEKTRISK BAOGAVSAETTNING.
摘要
申请公布号 FI862732(A0) 申请公布日期 1986.06.26
申请号 FI19860002732 申请日期 1986.06.26
申请人 ANDAL CORPORATION 发明人 BERGMAN, CLARK
分类号 C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C/ 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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