发明名称 |
ISOTROPIC DOPING OF SEMICONDUCTOR MATERIAL |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS61137316(A) |
申请公布日期 |
1986.06.25 |
申请号 |
JP19850268277 |
申请日期 |
1985.11.28 |
申请人 |
XEROX CORP |
发明人 |
ROBAATO ARAN BAAKAA;CHIYUANGU CHIYUANGU TSUAI;JIYON SHII NAITSU |
分类号 |
H01L21/205;H01L21/22;H01L21/225 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|