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发明名称 PROCEDE POUR L'AUTO-ALIGNEMENT D'UNE DOUBLE COUCHE DE SILICIUM POLYCRISTALLIN, DANS UN DISPOSITIF A CIRCUIT INTEGRE, AU MOYEN D'UNE OPERATION D'OXYDATION
摘要
申请公布号 FR2543738(B1) 申请公布日期 1986.06.20
申请号 FR19840005074 申请日期 1984.03.30
申请人 SGS ATES COMPONENTI ELETTRONICI 发明人 PIERANGELO PANSANA
分类号 H01L21/8247;H01L21/033;H01L21/28;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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