发明名称 DISPERSION AQUEUSE D'ANHYDRIDE SILICIQUE ET COMPOSITION ABRASIVE COMPRENANT CETTE DISPERSION
摘要 <P>DISPERSION AQUEUSE D'ANHYDRIDE SILICIQUE COMPRENANT UN SOLVANT AQUEUX ET DE L'ANHYDRIDE SILICIQUE DISPERSE DANS CE SOLVANT.</P><P>L'ANHYDRIDE SILICIQUE A UNE DENSITE SUPERFICIELLE DE GROUPEMENTS SILANOL DE 0,3 A 3 POUR 100.10 M ET EST OBTENU PAR TRAITEMENT DE SURFACE D'ANHYDRIDE SILICIQUE PRODUIT PAR UN PROCEDE PAR VOIE SECHE.</P><P>LA DISPERSION AQUEUSE EST UTILISABLE COMME ABRASIF, NOTAMMENT POUR DES SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS.</P>
申请公布号 FR2574064(A1) 申请公布日期 1986.06.06
申请号 FR19850017963 申请日期 1985.12.04
申请人 MITSUBISHI CHEMICAL IND LTD 发明人 KATSUHISA KOHYAMA, TSUNEO KIMURA, TERUO KIDERA ET YUKIO KAJIWARA;KIMURA TSUNEO;KIDERA TERUO;KAJIWARA YUKIO
分类号 C01B33/12;C01B33/14;C01B33/141;C01B33/145;C01B33/18;C09K3/14;H01L21/306;(IPC1-7):C01B33/141 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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