发明名称 THICKNESS MONITOR FOR COATING SILICON WAFER
摘要
申请公布号 US3492491(A) 申请公布日期 1970.01.27
申请号 USD3492491 申请日期 1967.03.03
申请人 OPTOMECHANISMS INC. 发明人 ROLAND C.M. BEEH
分类号 G01B11/06;G05D5/03;(IPC1-7):H01J39/12 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
地址