发明名称 APPAREIL ET PROCEDE POUR FAIRE DES DEPOTS DE VAPEUR SUR DES PLAQUETTES
摘要 <P>A.APPAREIL ET PROCEDE POUR FAIRE DES DEPOTS DE VAPEUR SUR DES PLAQUETTES.</P><P>B.APPAREIL CARACTERISE EN CE QU'IL SE COMPOSE D'UN MOYEN 2 FORMANT UNE CHAMBRE DE REACTION, D'UN MOYEN DE SUPPORT 1 PLACE A L'INTERIEUR DE LA CHAMBRE 2, D'UN RECEPTEUR 3 EN FORME DE PLAQUE PORTE PAR LE MOYEN DE SUPPORT 1 SUIVANT UN ANGLE NON PERPENDICULAIRE A LA DIRECTION HORIZONTALE, D'UNE BOBINE A INDUCTION 4 DE FREQUENCE RADIO PLACEE DERRIERE LE RECEPTEUR 3, D'UN MOYEN DE SUPPORT DE PIECES 5 POUR SUPPORTER UNE PIECE A TRAITER CONTRE LE RECEPTEUR 3 ET D'UN MOYEN D'ALIMENTATION EN GAZ DISPOSE DE FACON A DIRIGER UN GAZ DE REACTION SUR LA PIECE PORTEE PAR LE MOYEN DE SUPPORT DE FACON A GENERER SUR LA PIECE UNE COUCHE DE DEPOT DE VAPEUR.</P><P>C.L'INVENTION CONCERNE UN APPAREIL ET UN PROCEDE POUR FAIRE DES DEPOTS DE VAPEUR SUR DES PLAQUETTES.</P>
申请公布号 FR2573325(A1) 申请公布日期 1986.05.23
申请号 FR19850016907 申请日期 1985.11.15
申请人 SONY CORP 发明人 HISAO HAYASHI, YASUSHI MORITA ET MITSUNARI NODA;MORITA YASUSHI;NODA MITSUNARI
分类号 C23C16/46;(IPC1-7):B01J16/00 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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