| 发明名称 |
PROBE FOR INPUTTING HIGH SPEED SIGNAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6196471(A) |
申请公布日期 |
1986.05.15 |
| 申请号 |
JP19840216441 |
申请日期 |
1984.10.17 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
NAKANE HIDEAKI;HIRANO MIKIO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/067;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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