| 发明名称 |
CONVEYOR FOR INSPECTING THIN TYPE INTERGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6196798(A) |
申请公布日期 |
1986.05.15 |
| 申请号 |
JP19840217291 |
申请日期 |
1984.10.18 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD |
发明人 |
SUZUKI SHINPEI;MANIWA TOMOYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/66;B65G47/91;B65G57/00;H01L21/67;H01L21/68;H05K13/02 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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