| 发明名称 | 制造设备 | ||
| 摘要 | 一制造设备具有与其一部分整体安装以至少向工件所在区域供应清洁空气的清洁空气供应装置还具有一在工件的另一侧与清洁空气供应装置相对设置并适于将空气排出设备的排气装置。所以，有可能在正压力下始终向工件区域供应清洁空气，这样，就不会使在设备内、外产生的尘埃运动到工件附近。因此，有可能仅靠设备本身就能阻止尘埃粘附到工件表面还可能按照要求安装设备。 | ||
| 申请公布号 | CN85108470A | 申请公布日期 | 1986.05.10 |
| 申请号 | CN85108470 | 申请日期 | 1985.11.21 |
| 申请人 | 株式会社日立制作所 | 发明人 | 已亦力 |
| 分类号 | H01L21/60;F24F3/16 | 主分类号 | H01L21/60 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人 | 王宪模;王申 |
| 主权项 | 1、一制造设备包括：与设备的一部分构成整体的清洁空气供应装置，它提供清洁空气并使其至少流向工件所在区域；与设备的一部分构成整体的空气排放装置，并使其面对清洁空气供应装置，该装置用来将提供的清洁空气排放到装置的外面。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||