发明名称 VORRICHTUNG ZUR KONTAKTIERUNG I
摘要
申请公布号 DD235527(A1) 申请公布日期 1986.05.07
申请号 DD19840265381 申请日期 1984.07.18
申请人 TU DRESDEN,,,,DD 发明人 SCHOEPKE,ROLAND,DD;BERNDT,KLAUS,DD
分类号 B65G47/92;B65H9/08;G05D3/00;H01L21/58;(IPC1-7):H01L21/58 主分类号 B65G47/92
代理机构 代理人
主权项
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