| 发明名称 |
METHOD FOR PATTERNING LAYER HAVING HIGH REFLECTANCE USING PHOTOSENSITIVE MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0098582(A3) |
申请公布日期 |
1986.05.07 |
| 申请号 |
EP19830106553 |
申请日期 |
1983.07.05 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
UENO, TSUNEHISA;KAMATA, YUTAKA;MIYAZAKI, SINJI |
| 分类号 |
G03F7/09;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/312;H01L21/3213;(IPC1-7):G03F7/02 |
主分类号 |
G03F7/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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