| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR LIGHTING WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6186605(A) |
申请公布日期 |
1986.05.02 |
| 申请号 |
JP19840208157 |
申请日期 |
1984.10.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KUBOTA HITOSHI;FUSHIMI SATOSHI;MAEDA SHUNJI;MAKIHIRA KAN;NAKAGAWA YASUO |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/00;G03F9/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
