| 发明名称 |
METHOD OF EXTRACTING WAFER AND HOLDER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6186182(A) |
申请公布日期 |
1986.05.01 |
| 申请号 |
JP19840208744 |
申请日期 |
1984.10.04 |
| 申请人 |
MITSUBISHI METAL CORP;NIPPON SILICON KK |
发明人 |
HOSOYA AKIHIRO |
| 分类号 |
B25B11/00;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):B25B11/00 |
主分类号 |
B25B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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