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发明名称 THREE PLATE, SILICON-GLASS-SILICON CAPACITIVE PRESSURE TRANSDUCER
摘要
申请公布号 EP0136249(A3) 申请公布日期 1986.04.30
申请号 EP19840630125 申请日期 1984.08.28
申请人 UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 GRANTHAM, DANIEL HARRISON;SWINDAL, JAMES LOYCE
分类号 G01L13/02;G01L9/00;G01L9/12;H04R19/04;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L13/02
代理机构 代理人
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