发明名称 INTER-GAUGE MARK DISPLACEMENT GAUGE
摘要
申请公布号 JPS6183901(A) 申请公布日期 1986.04.28
申请号 JP19840205270 申请日期 1984.09.29
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 TSUJI OSAMU
分类号 G01N3/06;G01B7/00;G01B7/02;G01B7/16 主分类号 G01N3/06
代理机构 代理人
主权项
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