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发明名称 EXPOSURE CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPS6183525(A) 申请公布日期 1986.04.28
申请号 JP19840204644 申请日期 1984.09.29
申请人 COPAL CO LTD 发明人 ISHIGURO YASUO
分类号 G03B7/087;G03B7/083;G03B9/10;G03B9/24;H01L41/08;H01L41/09 主分类号 G03B7/087
代理机构 代理人
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