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发明名称 AN ALIGNMENT MARK DETECTING OPTICAL SYSTEM
摘要
申请公布号 GB2130738(B) 申请公布日期 1986.04.16
申请号 GB19830027927 申请日期 1983.10.19
申请人 * CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 AKIYOSHI * SUZUKI
分类号 G01B11/00;G03F9/00;G05D3/12;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):G03B27/32;G03B41/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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