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经营范围
发明名称
PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6169983(A)
申请公布日期
1986.04.10
申请号
JP19840189602
申请日期
1984.09.12
申请人
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRONICS CO LTD
发明人
KASAMA KANAME;YAMAGUCHI YOSHIKI;TAKAGAKI TETSUYA;MIZOGAMI KAZUAKI;WATANABE KEIJI
分类号
C23F1/00
主分类号
C23F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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