发明名称 INSTALLATION FOR PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6163596(A) 申请公布日期 1986.04.01
申请号 JP19840185600 申请日期 1984.09.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YONEYA KATSUTOSHI
分类号 C30B15/24;C30B15/22;C30B27/02;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B15/24
代理机构 代理人
主权项
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