发明名称 PRODUCTION OF SILICON NITRIDE FINE POWDER
摘要
申请公布号 JPS6163506(A) 申请公布日期 1986.04.01
申请号 JP19840184213 申请日期 1984.09.03
申请人 MITSUBISHI GAS CHEM CO INC 发明人 SUZUKI TAKASHI;KAWAKAMI TAKAMASA;KOYAMA GOJI;ISAKI HIROMASA;NAKANORI AIKO
分类号 C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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