发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6155985(A) 申请公布日期 1986.03.20
申请号 JP19840177730 申请日期 1984.08.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUGINO TAKASHI;YOSHIKAWA AKIO
分类号 H01L21/52;H01L21/58;H01S5/00 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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