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发明名称 PRODUCTION OF SILICON HYDRIDE
摘要
申请公布号 JPS6153109(A) 申请公布日期 1986.03.17
申请号 JP19840175662 申请日期 1984.08.23
申请人 MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 ITO MASAYOSHI;MIYAGAWA HIROJI;ABE TOSHIHIRO;INOUE KAORU;IWATA KENJI;TSUKAHARA TOSHIYUKI
分类号 C01B33/04 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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