| 发明名称 |
FORMATION OF ELECTRONICALLY PASSIVATED SURFACE ON CRYSTALLINE SILICON BY HYDROFLUORIC ACID TREATMENT AND ORGANIC LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6148578(A) |
申请公布日期 |
1986.03.10 |
| 申请号 |
JP19850173087 |
申请日期 |
1985.08.06 |
| 申请人 |
EXXON RES & ENG CO |
发明人 |
BAANAADO AARU WAINBAAGAA;HARII DABURIYUU DETSUKUMAN;IIRAI YABURONOBUITSUCHI |
| 分类号 |
C23C22/34;C30B33/00;H01L21/306;H01L21/312 |
主分类号 |
C23C22/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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