发明名称 BOAT FOR HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6144425(A) 申请公布日期 1986.03.04
申请号 JP19850159026 申请日期 1985.07.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAJIMA TATSUNORI;KAJIWARA KOSEI;OGAWA KUNI;YASUNO KOSUKE
分类号 H01L21/67;H01L21/22 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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