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发明名称 WAFER MOUNTING BASE
摘要
申请公布号 JPS6142930(A) 申请公布日期 1986.03.01
申请号 JP19840159469 申请日期 1984.07.31
申请人 CARL ZWISS JENA:VEB 发明人 UDO BATEIIKU;PEETAA DEIITORITSUHI;NORUBERUTO ERUTERU;GIYUNTAA OSUTERURANTO;MATEIASU RIYUTSUKUNAAGERU;UERUNAA SHIEERAA;KURAUSU SHIYURUTSU
分类号 H01L21/68;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/67 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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