| 发明名称 |
PERFEZIONAMENTO NEGLI APPARECCHI DI ALLINEAMENTO IN PARTICOLARE PER LA PRODUZIONE DI DISPOSITIVI A SEMICONDUTTORE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
IT1118102(B) |
申请公布日期 |
1986.02.24 |
| 申请号 |
IT19790049289 |
申请日期 |
1979.06.04 |
| 申请人 |
ROCKWELL INTERNATIONAL CORPORATION |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L21/30;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
