发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6137968(A) 申请公布日期 1986.02.22
申请号 JP19840160335 申请日期 1984.07.31
申请人 发明人
分类号 C23C16/50;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L31/0248 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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