| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6134921(A) |
申请公布日期 |
1986.02.19 |
| 申请号 |
JP19840153967 |
申请日期 |
1984.07.26 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;NISHIZAWA JUNICHI;SUZUKI SOUBEE |
发明人 |
NISHIZAWA JUNICHI;SUZUKI SOUBEE |
| 分类号 |
H01L29/80;C23C16/24;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/263;H01L21/268 |
主分类号 |
H01L29/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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