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发明名称 VAPOR-PHASE OXIDE FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6230338(A) 申请公布日期 1987.02.09
申请号 JP19860080092 申请日期 1986.04.09
申请人 ASAHI CHEM IND CO LTD 发明人 TERADA EIGO;TOYOMOTO KAZUO
分类号 H01L21/316;C23C8/10;H01L21/31 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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