发明名称 APPAREIL ET PROCEDE AMELIORES POUR L'EVAPORATION A L'ARC ELECTRIQUE DE CIBLES DE GRANDE SURFACE
摘要 <P>APPAREIL ET PROCEDE AMELIORES POUR L'EVAPORATION A L'ARC ELECTRIQUE DE CIBLES DE GRANDE SURFACE.</P><P>ON FAIT ECLATER UN ARC ENTRE UNE ANODE 21 ET UNE CIBLE METALLIQUE 12 POUR FAIRE EVAPORER LA MATIERE DE CELLE-CI ET LA DEPOSER COMME REVETEMENT SUR UN SUBSTRAT 25 EN MATIERE PLASTIQUE PENDANT QU'ON ENVOIE, DANS UNE BOBINE 16 DISPOSEE SOUS LA CIBLE 12 DES IMPULSIONS DE COURANT QUI PRODUISENT PAR INTERMITTENCE AU-DESSUS DE LA CIBLE 12 UN CHAMP MAGNETIQUE TRANSVERSAL QUI RAMENE LE POINT CATHODIQUE EN SENS TRANSVERSAL A SA DIRECTION PRINCIPALE, CE QUI PROCURE UNE EVAPORATION UNIFORME DE CETTE CIBLE.</P>
申请公布号 FR2568896(A1) 申请公布日期 1986.02.14
申请号 FR19850012274 申请日期 1985.08.12
申请人 VAC TEC SYSTEMS INC 发明人 CHARLES F. JR. MORRISON
分类号 C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;H05H1/50;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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