发明名称 TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6119142(A) 申请公布日期 1986.01.28
申请号 JP19840139625 申请日期 1984.07.05
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 YAMAZAKI JIYUNJI
分类号 H01L21/66;G01R1/073 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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