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发明名称
摘要
申请公布号 JPS612312(B2) 申请公布日期 1986.01.23
申请号 JP19770158235 申请日期 1977.12.29
申请人 NIPPON DENSHIN DENWA KK 发明人 KOBAYASHI YOSHIHARU;SAKAI TETSUSHI;MAKINO TAKAHIRO;SATO MASAAKI
分类号 H01L21/225;H01L21/28;H01L21/8247;H01L29/06;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
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