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发明名称 EXHAUST SYSTEM OF VACUUM ROTARY APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6111126(A) 申请公布日期 1986.01.18
申请号 JP19840132088 申请日期 1984.06.28
申请人 TOSHIBA KK 发明人 YAMAMOTO HITOMI
分类号 B01D59/20 主分类号 B01D59/20
代理机构 代理人
主权项
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