| 发明名称 |
Trench isolation structure in an integrated circuit and method of formation. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0646956(A3) |
申请公布日期 |
1997.07.09 |
| 申请号 |
EP19940114087 |
申请日期 |
1994.09.08 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
POON, STEPHAN S.;TSENG, HSAING-HUANG |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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